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                SiC籽晶粘接設備


                所屬分類:

                第三代半導體工藝設備


                概要:

                ? 籽晶的粘接工藝技術是將SiC籽晶通過有機膠粘接在石墨紙上,提高籽晶粘接質量是保證高品質SiC晶體生長的首要前提。


                關鍵詞:

                SiC籽晶粘接



                SiC籽晶粘接設備


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